裂缝打破规则的纳米加工

奈米制造时,裂缝通常是最好的避免。但是现在在韩国研究人员发现,裂缝并不总是坏的,如果利用,它们可以用来制造控制模式。技术是廉价和简单,可能有利于电子和微流体。

古永锵Hyun不结盟运动,该研究的第一作者是在首尔梨花女子大学,说他的团队的技术类似于古埃及石匠的方式创建的石头金字塔的大小正好合适的建设。而不是手工切割岩石,石匠将迫使一个木楔进岩石的一个小洞,并用水浸泡。楔将扩大,集中力量技巧,巧妙地打破岩石分开。

韩国集团的技术是更精致,但是使用相同的原则。他们使用这一过程被称为等离子体刻蚀在硅衬底创建小级距和步骤,在氮化硅的沉积一薄层。这样的沉积往往会伴随着控制裂缝,但使用等级和步骤指南裂纹的传播:等级集中应力开始把裂纹的裂纹和步骤停止。一般来说,裂缝会硅衬底的晶体取向的方向,但通过引入之间夹一层二氧化硅硅和氮化硅,研究人员可能会迫使其他方向的裂缝。

证明他们的技术的有效性,南和他的同事们捏造一个正方形框文字下面,在微米与细节。南说,解决控制开裂是有限的,只有方法用于创建等级的准确性和步骤,沉积氮化硅。“我相信精度比1µm会更好,但可以更好地当你使用更好的设备或光掩模,”他补充道。

通常情况下,依赖于纳米制造的光刻和蚀刻,但这些技术可以耗时和昂贵的。控制裂缝可能提供一种新的技术,更快,也更便宜。应该是兼容当前在半导体制造技术,这意味着它可以被用来帮助未来的一代又一代的硅芯片。另一个应用程序将微流体,微细血管需要操纵生物分子。

物理学家弗拉基米尔安东诺夫在英国伦敦大学皇家霍洛威学院使用奈米制造在每天的基础上,指出该技术可以改善的地方。例如,氮化硅必须生长在一个相当高的温度可能会影响其他半导体元素和裂纹的深度应该完全可控的所以它并不总是传播到衬底。但是他说,应该考虑实际应用。“这里有巨大的潜力,”他补充道。